王瑞坤，王小平，杨秉川，刘安生，袁冠森

• 1:北京有色金属研究总院

摘要(Abstract)：

用分析电镜和高分辨电镜对在３０ｍｍ×３０ｍｍＬａＡｌＯ３衬底上，采用中空柱状阴极直流磁控溅射的高ＪｃＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ（ＹＢＣＯ）薄膜的微观组织结构进行了研究。薄膜为ｃ轴取向ＹＢＣＯ，含有少量Ｙ２ＢａＣｕＯ５颗粒和纺锤状Ｙ２Ｏ３。膜内主要晶体缺陷为［００１］刃位错和螺位错、堆垛层错、（００１）晶面弯曲带、小于１５ｎｍ的晶格畸变区和阳离子空位。ＬａＡｌＯ３衬底表面呈阶梯状并有小坑。衬底表面第一层膜原子为ＣｕＯ和ＣｕＯ２层，以致在界面形成ＢａＣｕＯ２和ＹａＢａＣｕ２Ｏ５相。ＬａＡｌＯ３衬底表层有较多位错，对薄膜外延生长和缺陷的形成有明显影响。

关键词(KeyWords)： TBa_2Cu_3O_（7－x），薄膜，微观组织结构，界面，缺陷

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家超导研究和开发中心资助

作者(Author): 王瑞坤，王小平，杨秉川，刘安生，袁冠森

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参考文献(References)：

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