中国稀土学报

1996, (03)

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LaAlO_3衬底上磁控溅射的大面积YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜微观组织
Study on Microstructure of Large Area YBa_2Cu_3O_(7-x) Thin Film Magnetron-Sputtered on LaAlO_3 Substrate

王瑞坤,王小平,杨秉川,刘安生,袁冠森

摘要(Abstract):

用分析电镜和高分辨电镜对在30mm×30mmLaAlO3衬底上,采用中空柱状阴极直流磁控溅射的高JcYBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜的微观组织结构进行了研究。薄膜为c轴取向YBCO,含有少量Y2BaCuO5颗粒和纺锤状Y2O3。膜内主要晶体缺陷为[001]刃位错和螺位错、堆垛层错、(001)晶面弯曲带、小于15nm的晶格畸变区和阳离子空位。LaAlO3衬底表面呈阶梯状并有小坑。衬底表面第一层膜原子为CuO和CuO2层,以致在界面形成BaCuO2和YaBaCu2O5相。LaAlO3衬底表层有较多位错,对薄膜外延生长和缺陷的形成有明显影响。

关键词(KeyWords): TBa_2Cu_3O_(7-x),薄膜,微观组织结构,界面,缺陷

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家超导研究和开发中心资助

作者(Author): 王瑞坤,王小平,杨秉川,刘安生,袁冠森

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